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首页 >水质标准 >中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准| 指标\级别 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | 
| 电阻率 MΩ,cm(25℃) | 18以上,(95%时间)不低于17 | 15,(95%时间)不低于13 | 12.0 | 0.5 | 
| 全硅,最大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 | 
| >1μm微粒数,最大值,个/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 | 
| 细菌个数,最大值,个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 | 
| 铜,最大值,μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 | 
| 锌,最大值,μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 | 
| 镍,最大值,μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 | 
| 钠,最大值,μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 | 
| 钾,最大值,μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 | 
| 氯,最大值,μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 | 
| 硝酸根,最大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 
| 磷酸根,最大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 
| 硫酸根,最大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 
| 总有机酸,最大值,μg/L | 20 | 
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